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本发明公开了一种基于温度场对称性的平面薄膜热电偶静态特性标定方法,其基于激光器加热距离薄膜热电偶热结点附近的基底表面以使得温度梯度集中于所述薄膜热电偶线路内并作为薄膜热电偶静态标定的温度激励源;标定方法通过调节激光器的激光功率,根据薄膜热电偶热结点温度和热电势计算不同温度下薄膜热电偶塞贝克系数以实现薄膜热电偶静态特性的标定。本发明的标定方法通过标准热电偶探头结合温度推算模型得到薄膜热电偶热结点温度,结合热电势实现静态标定。该方法能够避免接触式测温对薄膜热电偶造成损坏,避免激光直接加热薄膜热电偶造
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116839762 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310824903.0
(22)申请日 2023.07.06
(71)申请人 北京航空航天大学
地址 1000
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