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本实用新型涉及清洗设备技术领域，尤其涉及一种涂胶胶盘清洗设备。本实用新型提供的涂胶胶盘清洗设备包括柜体、清洗装置以及废液回收装置；柜体包括顶板、底板、背板、左侧板、右侧板、操作台面以及支撑杆，清洗装置包括清洗桶和排液柱，废液回收装置包括排液管、排液手阀以及废液桶，排液柱设置在清洗桶的中间位置。本实用新型提供的涂胶胶盘清洗设备通过在清洗桶中设置排液柱，能够降低清洗用化学液的使用量，降低成本节约用料；同时整个清洗过程在柜体内完成，减少对环境的污染，提高操作的安全性。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219785789 U
(45)授权公告日 2023.10.03
(21)申请号 202321285277.4
(22)申请日 2023.05.25
(73)专利权人 长春长光圆辰微电子技术有限公
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