一种化学物质输送系统及方法.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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一种化学物质输送系统及方法.pdf

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本申请提供一种化学物质输送系统及方法，载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接，载气进气口通过第二载气支路分别与第一和第二阀门连接；第一阀门连接前级管路，第二阀门连接反应腔体；汽化器通过液体化学物质输送管路，与液体化学物质输送系统连接；汽化器通过薄膜沉积管路分别与第三和第四阀门连接；第三阀门连接前级管路，第四阀门连接反应腔体；第一阀门和第四阀门用于在输送化学蒸汽时开启，在进行吹扫时关闭；第二阀门和第三阀门用于在进行吹扫时开启，在输送化学蒸汽时关闭。从而本申请通过四个阀门之间的快速切换，可快速将大量

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116837348 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310783458.8 (22)申请日 2023.06.28 (71)申请人江苏微导纳米科技股份有限公司地址