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- 2023-10-04 发布于四川
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本发明提供一种用于成膜用溶液的含氟聚合物，其能够形成在浸渍于显影液时不易产生残渣的膜。本发明的含氟聚合物的特征在于包含下述式(1)所示的重复单元和下述式(2)所示的重复单元，以下述式(1)所示的重复单元为基准的质量百万分率表示，上述式(2)所示的重复单元的含量为1500ppm以下。在式(1)和式(2)中，R1、R2各自独立地为氢原子、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基或叔丁基，R3、R4各自独立地为氢原子、甲基或乙基，R5为氢原子或三氟甲基，R6为氢原子、氯原子、甲基或三氟甲基。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116848162 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202180083298.5 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事
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