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包括集成于柔性衬底上的柔性单晶压电LiNbO3和/或LiTaO3膜的压电装置及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-10-04 发布于四川
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包括集成于柔性衬底上的柔性单晶压电LiNbO3和/或LiTaO3膜的压电装置及其制造方法.pdf

    本发明涉及包括集成于柔性衬底上的柔性单晶压电LiNbO3和/或LiTaO3膜的压电装置及其制造方法。更具体地，本发明涉及一种用于能量采集的柔性压电装置。所述柔性压电装置包括包含上部面和下部面的柔性衬底层，以及至少一个LiNbO3和/或LiTaO3膜，称为LNT膜，所述LNT膜结合到所述柔性衬底层的所述面中的一个，其中所述至少一个LNT膜的厚度tf是在5到50微米(μm)的使用范围之间选择。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116848966 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202180085323.3 卢多维克 ·高蒂尔-曼纽尔　

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