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本发明提供一种自对准多重图案化标记。所述标记包括设置于衬底上的一组图案与覆盖层。所述一组图案包括在第一方向上延伸且彼此平行设置的多个条状图案，且相邻的两个条状图案的末端彼此连接以形成独立环形。所述覆盖层设置于所述衬底上且覆盖所述一组图案。所述覆盖层具有在与所述第一方向交错的第二方向上延伸的开口，且所述覆盖层覆盖每一个条状图案的相对的两个末端。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116845052 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202210296957.X
(22)申请日 2022.03.24
(71)申请人 华邦电子股份有限公司
地址 中国
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