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本申请实施例公开了一种滤波装置及其制作方法，该滤波装置包括声学谐振器和至少一个电容滤波器，从而使得所述滤波装置既包括声学谐振器，又包括电容滤波器，因此，本申请实施例所提供的滤波装置既能实现大带宽的要求，又具有较高Q值，可以实现滤波器的快速滚降。而且，该滤波装置中，所述声学谐振器包括多个电极，所述多个电极的至少一个电极的至少部分区域复用为所述电容滤波器的部分电极，从而将声学谐振器和电容滤波器制作在一个晶圆上，同时复用部分结构，以减小所述滤波装置的体积。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116846358 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310799849.9 H01L 21/02 (2006.01)
(22)申请日 2023.06.
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