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谐振装置及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-10-04 发布于四川
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谐振装置及其制造方法.pdf

    本发明涉及谐振装置及其制造方法。本发明提供一种谐振装置的制造方法，包括以下工序：准备谐振装置(1)，上述谐振装置(1)具备下盖(20)、与下盖(20)接合的上盖(30)、以及具有振动臂(121A～121D)的谐振器(10)，该振动臂(121A～121D)构成为在被设置于下盖(20)与上盖(30)之间的内部空间能够弯曲振动；和调整谐振器(10)的频率，调整频率的工序包括：使振动臂(121A～121D)弯曲振动，使振动臂(121A～121D)的末端部(122A～122D)的氧化硅以3.5×103μm

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116848782 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202180091114.X (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限

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