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一种真空衬底传送装置包括：框架；具有驱动轴线的驱动部；至少一个臂，该至少一个臂具有：用于保持衬底的末端执行器；具有实现伸展和缩回的至少一个自由度轴线；以及限定导轨的轴承，该导轨限定了轴线，该轴承包括至少一个滚动承载元件，该至少一个滚动承载元件布置在轴承箱中，在轴承滚道和轴承导轨之间邻接以支撑臂负荷，并实现轴承箱沿导轨的滑动；以及至少一个滚动的基本上非承载间隔元件，该至少一个滚动的基本上非承载间隔元件布置在该轴承箱中并且插置在每个承载元件之间，其中，该间隔元件是牺牲性缓冲材料，在规定的预定使用期限
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116845017 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310572983.5 (51)Int.Cl .
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