原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及光刻工艺领域，特别是涉及一种掩模板清洗设备及方法，包括基台、固定组件、清洗组件及移动组件；待清洗掩模板放置于所述基台上，并被所述固定组件固定；所述移动组件用于控制所述清洗组件在所述基台上方移动；所述清洗组件包括清洗杯体、输液管及环形气嘴；所述清洗杯体为底部存在孔洞的杯体；所述环形气嘴朝向所述基台，且将所述孔洞包围，所述环形气嘴喷气能在所述清洗组件与所述基台之间形成气墙；所述清洗杯体、所述气墙、及所述待清洗掩模板组成洗涤腔室；所述输液管向所述洗涤腔室内注入清洁液。本发明中的清洗组件通过控
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116841119 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310826902.X
(22)申请日 2023.07.06
(71)申请人 上海集成电路装备材料产业创新中
文档评论（0）