光路稳定控制装置及光刻机.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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光路稳定控制装置及光刻机.pdf

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本发明提供了一种光路稳定控制装置及光刻机，所述光路稳定控制装置包括：入风口、挡风板、导流格栅以及多孔组件；其中，所述入风口用于通入压缩气体；所述挡风板用于把气体分为两路，第一路气体通过所述导流格栅，第二路气体通过所述多孔组件；所述导流格栅用于均匀化所述第一路气体以对干涉仪进行散热；所述多孔组件用于均匀化所述第二路气体以维持干涉仪光路的压力稳定。本发明提供的光路稳定控制装置提高了干涉仪光路的稳定性，并且解决了干涉仪自身发热导致的测量偏差，从而提升了干涉仪的测量精度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116841125 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202210295567.0 (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人上海微电子装备（集团）股份有限公