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本发明公开了一种无定型氟树脂在光掩膜板用防尘膜中的制备方法，属于氟树脂薄膜覆框技术领域。该方法通过利用旋涂的方式，将氟树脂溶液制备得到厚度仅为0.5‑5μm的薄膜，且氟树脂薄膜的透光率可达95％以上。利用液体的张力将薄膜舒展开，然后利用气流装置进行分离使张紧框与薄膜贴合，不仅无需人工或是机器接触到薄膜，而且还分离高效，避免了薄膜破损或撕裂。同时镀了抗静电层，避免了由于薄膜静电吸附造成不易成型的问题。制备得到的无定型氟树脂薄膜可以作为光掩膜板防尘膜使用。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116833061 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310874962.9
(22)申请日 2023.07.17
(71)申请人 龙钟江
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