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本发明公开了一种光学元件成型用的模具，包括模具本体和复合涂层，所述模具本体为碳化硅陶瓷，所述复合涂层包括高熵合金层、钼层和二硫化钼层，所述高熵合金层设置于所述模具本体用于成型光学元件的成型面上，所述钼层设置于所述高熵合金层上，所述二硫化钼层设置于所述钼层上，所述高熵合金层的成分选自Ti、Cr、Mo、W、Hf、Ta元素中的至少五种，所述高熵合金层的成分至少包含Ti、Cr和Mo元素。本发明的光学元件成型用的模具通过在碳化硅模具本体上设置特定结构的复合涂层体系，复合涂层与碳化硅模具本体的结合力高，与光
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116835861 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310719968.9
(22)申请日 2023.06.17
(71)申请人 江苏浩纳光电股份有限公司
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