原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种半导体器件的制作方法。提供半导体衬底，所述半导体衬底的各个元胞中分别形成有栅极结构，所有所述栅极结构的长度延伸方向相同；向位于所有所述栅极结构的宽度方向第一侧的半导体衬底中第一源漏端进行第一离子注入，在所述第一源漏端形成第一晕环区；所述第一晕环区与所述栅极结构交叠；向位于所有所述栅极结构的宽度方向第二侧的半导体衬底中第二源漏端进行第二离子注入，在所述第二源漏端形成第二晕环区；所述第二晕环区与所述栅极结构交叠。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116844946 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310924583.6
(22)申请日 2023.07.25
(71)申请人 华虹半导体（无锡
文档评论（0）