硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备.pdfVIP

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2023-10-08 发布于四川
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硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备.pdf

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本实用新型提供了一种硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备，传送装置包括：双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两外链板通过销轴连接形成外链节，中链板安装在两外链板之间的销轴上，中链板与外链板之间设置有内链节，其中，内链节包括内链板；载具，用于承载硅片，并与中链板相连接。本实用新型提供的传送装置，载具连接在中链板上，从而随链条移动，实现对硅片的传动。采用双排链条传动，可以提高传动的稳定性和准确性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210607300 U (45)授权公告日 2020.05.22 (21)申请号 20192