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一种线位移传感器综合校准装置.pdfVIP

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  • 2023-10-09 发布于四川
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一种线位移传感器综合校准装置.pdf

    本实用新型公开了一种线位移传感器综合校准装置，它包括台架、台板、精密滚珠丝杆组件、组合滑台、线位移传感器夹具、激光干涉仪、门框干涉镜安装座、上位机、下位机、伺服控制器和伺服电机；上位机根据被校线位移传感器的类别结合相关校准规范控制精密滚珠丝杆组件直线运动；线位移传感器夹具一端安装具有多维运动的组合滑台上方，另一端根据需要安装在精密滚珠丝杆组件上方的滑块基座上，从而带动被校线位移传感器的直线运动；激光干涉仪实时测量精密滚珠丝杆组件上的滑块位移与被校的线位移传感器位移进行比较形成校准结果。本实用新型

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210625608 U (45)授权公告日 2020.05.26 (21)申请号 20192

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