一种新型栅格硼掺杂金刚石薄膜电极.pdfVIP

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2023-10-09 发布于四川
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一种新型栅格硼掺杂金刚石薄膜电极.pdf

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本实用新型属于薄膜电极技术领域,涉及一种硼掺杂金刚石薄膜电极。一种新型栅格硼掺杂金刚石薄膜电极，包括基底层和硼掺杂金刚石薄膜；所述硼掺杂金刚石薄膜沉积在所述基底层的表面，所述的基底层上设有若干呈阵列分布的下沉栅格。本实用新型的薄膜电极，与现有产品相比，具有的有益效果是：（1）栅格倒角的存在，能够释放薄膜的内应力，提高薄膜与基底层的结合力，增强电极的稳定性；（2）特殊的栅格结构，能够增加水流阻力，有利于抵抗水流的冲蚀；（3）栅格的存在，使电极表面凸凹不平，与相同规格的平面电极相比，能够增加约4%的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210620336 U (45)授权公告日 2020.05.26 (21)申请号 20192