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- 2023-10-09 发布于四川
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本实用新型提供了一种表面除尘设备,包括传动机构、除尘辊组机构和升降机构,传动机构用于带动基片的移动;除尘辊组机构包括分别位于传动机构的相对两侧的两个粘尘组件;每一粘尘组件均包括至少两个胶轮组;升降机构包括驱动胶轮组升降的若干升降件,升降件驱动位于同侧的胶轮组依次间隔与基片相抵接。本实用新型提供的表面除尘设备,通过两侧的粘尘组件同时对基板的两侧面进行吸附,达到较好的除尘效果,升降机构带动基片上侧或下侧的胶轮组依次间隔的与基片相接触,达到延长胶轮组单次寿命的目的,延长整个表面除尘设备的使用时间,避免
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210614551 U
(45)授权公告日
2020.05.26
(21)申请号 20192
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