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一种可在线观测的真空检漏仪.pdfVIP

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  • 2023-10-09 发布于四川
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一种可在线观测的真空检漏仪.pdf

    本实用新型公开了一种可在线观测的真空检漏仪，包括：机体、样品座部件、抽真空装置、检测机构和同轴光调节器；样品座部件设于所述机体顶部；抽真空装置设于所述机体内侧；检测机构设于机体顶部；同轴光调节器设于检测机构左侧，用于调节所述检测机构拍摄时光线的明亮度。本实用新型可在线观测样品杆/样品在真空中是否有泄漏、破损等缺陷，进行预抽真空，实现事先防止异常样品杆/样品进入电镜中，避免污染电镜环境。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210625984 U (45)授权公告日 2020.05.26 (21)申请号 20192

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