SEM实验指导书完整版.docVIP

PAGE PAGE 3 实验名称 实验一 材料断口的SEM观察及分析 一、实验内容 1. 扫描电镜试样制备 2. 材料断口、表面形貌观察与分析 3. 成分检测 二、实验目的及要求 1、熟悉扫描电子显微镜的结构与工作原理 2、熟悉试样制备的要求 3、了解真空镀碳膜仪，真空镀铂膜仪的操作步骤及状态参数 4、了解扫描电子显微镜的操作规程，熟悉二次电子像与背散射电子像的不同及应用。 5、了解能谱仪的操作规程，熟悉能谱分析中微区成分的点分析、线分析和面分析的应用与要求。 三、实验仪器设备及材料 JSM-6380LA扫描电子显微镜 JED-2300能谱仪 真空镀碳膜仪，真空镀铂膜仪 超声波清洗仪，电吹风 脆性断口试样、韧性断口试样、陶瓷试样、电镀试样 四、实验原理与主要设备参数 主要设备的技术参数 JSM-6380LA扫描电镜主要性能指标 样品座最大尺寸：Φ32 mm×10 mm 样品台移动范围：X：80 mm，Y：40 mm，Z：5 mm to 48 mm， Tilt：-10o to +90o Rotation：360o 加速电压：0.5 kV to 30 kV 二次电子图像分辨率：HV mode：3.0 nm（30 kV），20 nm（1kV） LV mode：4.0 nm（30 kV） 背散射电子图像：形貌像和成分像 放大倍数：×8 to ×300,000