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本实用新型公开了一种晶圆圆心位置纠心装置，包括内置腔映射板，所述内置腔的内部设置有内板，且内板的内部安装有主体，所述主体的外部表面设置有标尺，所述标尺底部外部的一端安装有连接座，且连接座的内部设置有固定螺栓，所述映射板位于内板内部的左端。该一种晶圆圆心位置纠心装置通过辅助装置、滑道、电动推杆和红外线的设置，能够利用红外线的设置辅助性的对晶圆圆心位置的准确程度进行肉眼的识别，便于使用者在机器加工过程中从外部对晶圆圆心的位置进行实时的观察，为使用者提供便捷，且可根据主体的安装时的厚度利用电动推杆的作
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210628269 U
(45)授权公告日
2020.05.26
(21)申请号 20192
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