一种基于直拉法单晶硅的提渣方法.pdfVIP

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本发明公开了一种基于直拉法单晶硅的提渣方法,在制备单晶硅的熔料完成后操作提渣方法,依次包括以下步骤:步骤一:拉制一段单晶硅晶体,使单晶硅晶体脱离熔硅液面;步骤二:提高单晶炉的加热功率;步骤三:回熔单晶硅晶体的底端;步骤四:提渣及清除杂质;步骤五:清除杂质完成后,依次完成引晶、放肩、转肩、等径、收尾和停炉工序,得到拉制成型的单晶硅棒。使首次投料的引放次数有效的降低到平均1.5‑1.8次,首投更快的拉出后,对后面的循环段更有效,降低晶体成晶难度,降低人员劳动强度,减少了生产成本,提高了单晶炉单晶成晶

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116856047 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202310877372.1 (22)申请日 2023.07.18 (71)申请人 乐山市京运通新材料科技有限公司 地

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