集成器件制造方法及相关产品.pdfVIP

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2023-10-11 发布于四川
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集成器件制造方法及相关产品.pdf

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本申请实施例公开了一种集成器件制造方法及相关产品，包括：提供用于制造集成器件的第一外延层、第二外延层和初始晶圆；针对第一外延层、第二外延层执行预设的器件正面(“Frontside”)制造工艺，形成滤波器和功率放大器正面组件；针对滤波器、功率放大器和初始晶圆执行晶圆键合，并完成背面(“Backside”)工艺以得到完整的集成器件；本申请实施例通过将滤波器和功率发大器集成在同一个芯片上，可以减小器件的尺寸，降低制造成本，提高器件的性能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111682860 A (43)申请公布日 2020.09.18 (21)申请号 20201