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一种具备清洗功能的承漏杯及晶圆清洗设备.pdfVIP

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  • 2023-10-11 发布于四川
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一种具备清洗功能的承漏杯及晶圆清洗设备.pdf

    本实用新型公开了一种具备清洗功能的承漏杯及晶圆清洗设备，包括杯体，为中空结构，杯体的底端与排液管路连通；清洗组件，设于杯体内部，清洗组件为管状结构，用于对伸入杯体的喷淋装置的外周清洗，清洗组件的底端与排液管路连通。本申请提供的一种具备清洗功能的承漏杯及晶圆清洗设备，通过在杯体内部设置清洗组件，通过清洗组件完成对喷淋装置的清洗维护，无需人工手动清洗维护，保证了安全性。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219805042 U (45)授权公告日 2023.10.10 (21)申请号 202321021381.2 (22)申请日 2023.04.26 (73)专利权人 江苏启微半导体

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