一种改性碳基复合涂层及制备方法、双极板.pdfVIP

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2023-10-11 发布于四川
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一种改性碳基复合涂层及制备方法、双极板.pdf

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本发明公开了一种改性碳基复合涂层及制备方法、双极板。涂层包括依次叠置的金属基材、扩散层、金属种子层、扩散层、梯度过渡层、扩散层和掺杂非晶碳涂层；梯度过渡层的材质为过渡金属Ti、Cr、Nb、Zr、Mo和Ta的碳化物或氮化物；掺杂非晶碳涂层的材质为掺杂Cr、Ti、Zr、Mo和Ta中的一种或多种的氮化物颗粒的非晶碳。本发明改性碳基复合涂层中，非晶碳涂层中掺杂金属元素在后续处理中对所掺杂的金属进行氮化处理，生成氮化物颗粒，大幅度降低涂层的内部压应力，减少涂层内的孔隙缺陷，提高碳膜中有序结构含量的增加，使

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116855900 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202310816620.1 (22)申请日 2023.07.04 (71)申请人上海电气集团股份有限公司地址