一种锅底料和石英坩埚分离装置及分离方法.pdfVIP

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2023-10-11 发布于四川
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一种锅底料和石英坩埚分离装置及分离方法.pdf

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本发明一种锅底料和石英坩埚分离装置及分离方法，用于将锅底料与内置于石墨/碳碳坩埚中的石英坩埚分离，包括夹取部和顶取部，所述夹取部包括可用于夹取石墨/碳碳坩埚外壁的夹爪组件；所述顶取部包括冲顶杆；所述冲顶杆能够在所述夹爪组件将置于石英坩埚中的锅底料和石墨/碳碳坩埚一起翻转倒置时顶推石墨/碳碳坩埚以推动锅底料与石英坩埚分离。本发明可以安全高效地将埚底料与石英坩埚分离，且不会对石墨/碳碳坩埚带来任何损坏，还可保证锅底料分离的完整性，延长了石墨/碳碳坩埚的使用寿命；而且还可以防止非硅杂质进入锅底料中，保

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116856045 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202210311823.0 (22)申请日 2022.03.28 (71)申请人内蒙古中环晶体材料有限公司地址