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本发明涉及分析仪器技术领域,具体涉及一种离子源及质谱仪,离子源包括介质阻挡放电组件,所述介质阻挡放电组件由依次平行紧贴的第一电极板、介质间隔板和第二电极板构成,贯穿所述第一电极板的第一通孔、贯穿所述介质间隔板的第二通孔、贯穿所述第二电极板的第三通孔彼此对应设置,形成待电离气体的气体通路。本发明离子源结构简单、紧凑,体积小巧,能耗极低,特别地适合用于小型化、手持式仪器上。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116864370 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202210316896.9
(22)申请日 2022.03.28
(71)申请人 株式会社岛津制作所
地址 日本国
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