原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提出了一种钙钛矿涂布装置及其涂布工艺，所述工作台包括电磁真空机台，所述电磁真空机台下部设置至少两组升降装置，所述升降装置包括竖直设置的升降气缸，所述升降气缸输出端连接有基板装载台；涂布工艺包括对基板中死区上方的掩模相对位置进行CCD视觉检测，检查每条掩模在基板P1至P3死区范围内的位置偏差情况，并调整掩模与死区位置后，通过电磁机台通电将掩模吸附，实现掩模与基板的对位，且掩模与基板之间分别形成上夹角和下夹角；通过设置掩模取代原有激光刻蚀P2层的方式，降低膜层表面刻蚀粉尘对组件的污染；通过调整
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116867335 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310872876.4
(22)申请日 2023.07.17
(71)申请人 昆山协鑫光电材料有限公司
地址
文档评论（0）