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本发明属于靶材加工技术领域，具体为一种多主元合金靶材的制备方法，该多主元合金靶材的制备方法的具体制备步骤流程如下：步骤一：准备铁、钴、铝、硅、铬、锌、钛、镍相应的粉末，备用，该多主元合金靶材首先通过铁粉、钴粉、铝粉、硅粉、铬粉、锌粉、钛粉和镍粉混合制备，在选材上，铁粉、钴粉、铝粉、硅粉、铬粉、锌粉、钛粉和镍粉粒径范围为10‑20微米，纯度在99.9‑99.999％，含氧量在1‑1800ppm，首先将多种金属材料颗粒混合，然后倒入真空热压机中制备成靶材胚料，最后经过及其加工制备成多元合金靶材，整个
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116851753 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202211743620.5
(22)申请日 2022.12.22
(71)申请人 唐山师范学院
地址 063000
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