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本发明涉及运维控制技术领域,提供了一种用于抛光装置的运维控制方法及系统,方法包括:交互抛光装置的装置数据;采集抛光任务,根据装置属性数据和抛光任务设置控制参数的极值区间;设置运维控制的多指标集合,并配置多指标集合的指标间的平衡约束;对抛光任务进行极值区间的控制寻优,输出多组寻优结果;根据多指标集合进行多组寻优结果的指标综合比对,生成多组综合指标值并筛选获得寻优参数,运维控制抛光装置,解决构建抛光装置的运维控制体系时,采用单一特征作为运维控制体系的输入,导致运维控制能力有限的技术问题,实现综合成本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116852239 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310830718.2 G06F 111/04 (2020.01)
(22)申请日 2023.07
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