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本实用新型涉及检测设备技术领域,涉及一种双工位石墨舟翘片检测装置。本实用新型具有制造成本低,操作简单,定位精准,测量精度高,误差小的特点,通过横移机构带动2个基板运动,其中一个基板上的石墨舟检测完成后,利用横移机构带动其移动,再对另一个基板上石墨舟进行检测,这样中间不存在时间间隔,检测效率大大提高了;输送机构上的光源组件对石墨舟进行照射,便于检测机构高精度的检测,检测效果较好,精度更高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210638658 U
(45)授权公告日
2020.05.29
(21)申请号 20192
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