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- 2023-10-11 发布于四川
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本发明涉及金刚石膜的制备技术，具体是一种金刚石膜的制备装置及方法。本发明解决了现有金刚石膜的制备方法制备效率低、制备质量差的问题。一种金刚石膜的制备装置，包括主体部分和控制部分；所述主体部分包括真空反应室、热丝阵列、支撑柱、杯形水冷腔、进水管、出水管、金属散热板、基片、传动柱、传动板、防水散热罩、超声波换能器、速度传感器、位移传感器、加速度传感器；所述控制部分包括微分器、积分器、三位转换开关、放大器、移相器、主施密特触发器、锁相环、第一PWM控制芯片、第一MOSFET、第一开关电源变压器、第一整
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108660433 A
(43)申请公布日
2018.10.16
(21)申请号 20181
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