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一种微型低功耗红外气体传感器.pdfVIP

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  • 2023-10-12 发布于四川
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一种微型低功耗红外气体传感器.pdf

    本实用新型提供了一种微型低功耗红外气体传感器，它包括MEMS红外光源、微型探测器、底板和内盖；所述内盖设置在所述底板上，构成该微型低功耗红外气体传感器的光学腔体；所述内盖的一端设置第一反射面，另一端设置第二反射面；MEMS红外光源对应设置在第一反射面下方，微型探测器对应设置在第二反射面下方；底板上开设若干通孔，待测气体经所述通孔进入光学腔体中；所述MEMS红外光源发出的红外光线依次经所述第一反射面反射、所述第二反射面反射后，由所述微型探测器接收。本实用新型具有结构简单和体积较小的优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210665491 U (45)授权公告日 2020.06.02 (21)申请号 20192

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