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一种平衡靶材消耗并提升其利用率的方法.pdfVIP

一种平衡靶材消耗并提升其利用率的方法.pdf

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    本发明公开了一种平衡靶材消耗并提升其利用率的方法，将靶材两端部位处的磁场强度设置成大于靶材中部部位处的磁场强度，且靶材两端部位处的外径尺寸设置成大于靶材其余部位处的外径尺寸。本发明的平衡靶材消耗并提升其利用率的方法，通过增大靶材两端磁场强度和外径尺寸，平衡靶材各部位的消耗速度，提升靶材的利用率。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116875950 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310792484.7 (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人 宣城开盛新能源科技有限公司 地址

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