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一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构.pdfVIP

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  • 2023-10-14 发布于四川
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一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构.pdf

    本实用新型涉及固晶技术领域，更具体地说，它涉及一种固晶机及其用于晶圆蓝膜张紧的升降调节机构，其包括支撑环、活动环和驱动机构，所述活动环用于与晶圆蓝膜连接；所述驱动机构包括螺杆和套设在螺杆上的驱动齿轮，所述驱动齿轮与螺杆螺纹连接，所述驱动齿轮可转动地设置在支撑环上，所述螺杆与活动环固定，所述驱动齿轮用于转动时通过螺杆带动活动环升降。在本实用新型提供的技术方案中，螺杆与驱动齿轮两者通过螺纹配合，带动活动环升降，当螺纹出现磨损时只需要更换螺杆或驱动齿轮，而不需要更换活动环，从而可以降低螺纹磨损时的维修

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219832626 U (45)授权公告日 2023.10.13 (21)申请号 202321062834.6 (22)申请日 2023.05.05 (73)专利权人 东莞市华越半导体技术股份有限

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