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- 2023-10-14 发布于四川
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本申请公开了一种槽式湿法设备，涉及太阳能电池片生产技术领域。包括反应槽、花篮和机械手，所述花篮用于承载硅片，所述机械手设置于所述反应槽的上方，所述机械手与所述花篮通过挂钩相连，所述机械手可带动所述花篮升降，以使所述花篮的至少部分位于所述反应槽之内或所述反应槽之外，所述机械手设有抽风口，所述抽风口朝向所述花篮。该方案能够解决目前槽式湿法设备进行加工工艺的过程中容易造成硅片表面存在气流印的问题。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219832682 U
(45)授权公告日 2023.10.13
(21)申请号 202321270394.3 B25J 19/00 (2006.01)
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