1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约6.7千字
  • 约 9页
  • 2023-10-14 发布于四川
  • 举报

一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构.pdf

    本实用新型公开了一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构，包括底座，所述底座的表面固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有第一直齿轮，所述底座的表面固定连接有两个侧板，两个所述侧板相对面的一侧转动连接有转动轴，所述转动轴、的表面固定连接有轴座。本实用新型通过启动伺服电机，第一张紧轮通过皮带带动第二张紧轮和齿轮轴旋转，齿轮轴带动第三直齿轮旋转，第三直齿轮通过齿槽带动滑杆沿着滑轨内壁滑动，滑杆通过连接板带动放置台向外侧进行移动，从而便于将烘干完成的光刻胶快速取出，并且当关闭盖盘时，还能够自动将放置台向

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219831627 U (45)授权公告日 2023.10.13 (21)申请号 202321242657.X (22)申请日 2023.05.22 (73)专利权人 宇弘研科技（苏州）有限公司 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >