一种自加热的MEMS红外光源及其制备方法.pdfVIP

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2023-10-14 发布于四川
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一种自加热的MEMS红外光源及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种自加热的MEMS红外光源及其制备方法，该MEMS红外光源包括由下到上依次设置的硅衬底、第一氧化层、自加热层、第二氧化层、加热电阻层和电极层，加热电阻层通过金属剥离工艺形成图形化的电阻结构，电阻结构包括位于中心的加热区域和两端延伸的焊盘区域；电极层位于焊盘区域，硅衬底背面通过刻蚀形成贯穿硅衬底的背洞区域。本发明所公开的红外光源采用悬浮式自加热膜结构，悬浮结构能减少向硅衬底的热量传输，自加热层具有低传热速率的性能，实现发光薄膜背向红外辐射的自吸收、达到热量储存目的，从而可以有效降低红

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116873857 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310886119.2 (22)申请日 2023.07.19 (71)申请人山东大学地址 266200