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2023-10-14 发布于四川
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本发明涉及波长399.08nm的紫外线激光产生装置，包含：激发光源部，其将波长1064.2nm的激光转换为二次谐波，生成532.1nm激光；光参量振荡部，其从532.1nm激光产生798.15nm信号光和1596.3nm空闲光；第一波长转换部，其使空闲光与532.1nm光进行和频产生，从而产生399.08nm光；以及第二波长转换部，其从信号光产生二次谐波(第一波长转换部以及第二波长转换部不分先后)。本发明涉及228.04nm紫外线激光产生装置，包含：399.08nm激光产生装置；以及第三波长转换

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116888528 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202280016813.2 (74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限