一种铝蚀刻液中酸含量的检测方法.pdfVIP

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2023-10-14 发布于四川
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一种铝蚀刻液中酸含量的检测方法.pdf

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本发明公开了一种铝蚀刻液中酸含量的检测方法，属于分析化学技术领域，包括如下步骤：S1、向铝蚀刻液加入氢氧化钾，加纯水稀释，得到阴离子盐溶液；S2、将经0.22μm滤膜过滤的标准工作溶液注入离子色谱仪中，设置参数，进行梯度洗脱流动相为氢氧化钾水溶液，0～4.5min氢氧化钾水溶液26.0mM、4.6～15min氢氧化钾水溶液35.0mM；保留时间定性，峰面积定量，绘制标准工作曲线；S3、将阴离子盐溶液注入离子色谱仪，加载绘制好的标准曲线，获得溶液中各酸根离子的含量。本发明可一步操作准确检测高速率铝

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116879444 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310866739.X (22)申请日 2023.07.14 (71)申请人合肥中聚和成电子材料有限公司地址