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公开了一种晶闸管，该晶闸管包括N型衬底，所述N型衬底具有第一表面和与所述第一表面相反的第二表面；P型掺杂层，所述P型掺杂层形成于所述N型衬底的所述第一表面和/或第二表面上；沟槽，所述沟槽从所述P型掺杂层的远离所述N型衬底的表面贯穿所述P型掺杂层并延伸到所述衬底内；以及玻璃钝化保护层，所述玻璃钝化保护层形成在所述沟槽内；其中，所述P型掺杂层、所述N型衬底和所述玻璃钝化保护层之间形成有薄氧层，所述薄氧层和所述玻璃钝化保护层之间形成有半绝缘多晶硅层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210668387 U
(45)授权公告日
2020.06.02
(21)申请号 20192
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