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- 2023-10-18 发布于四川
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本实用新型公开了一种Pellicle膜盒,包括周向设置在膜盒底部的若干个支撑组件和设置在膜盒四个角的固定组件,Pellicle膜的膜框通过所述支撑组件支撑,并通过固定组件固定,所述固定组件与Pellicle膜的膜框插接固定;所述支撑组件包括垫块和设置在所述垫块上的凸块,所述垫块的外侧边设置有一挡块,所述挡块的长度与所述垫块的长度相适应。Pellicle膜放置在膜盒中时,支撑组件的设置起到将膜盒的支撑部位垫高的作用,进而降低膜框与膜盒的接触面积,从而减低膜框与膜盒的粘黏性,便于将Pellicle膜
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219842629 U
(45)授权公告日 2023.10.17
(21)申请号 202320834993.7
(22)申请日 2023.04.14
(73)专利权人 深圳清溢光电股份有限公司
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