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本实用新型属于扩散工艺设备技术领域，尤其涉及扩散炉的排毒柜，柜体内的顶部风管为U型结构且包括依次连通的下风管、转向风箱和上风管。本实用新型将顶部风管设计为由下风管、转向管和上风管组成的U型结构，以此加长顶部风管的尾排系统的长度，大大增加了其尾排的内部容积，起到了调整调风插板阀和蝶形风阀时风量的微小调量变化对于顶部风管尾排系统内部的容积比例与其余下部风管保持相同，即均属于微小状态调整，实现调阀过程中不足以影响到上管总体尾排风量的大变化，从而也就不会产生顶部风管尾排风压的大波动，达到稳定精确的调整上
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219839793 U
(45)授权公告日 2023.10.17
(21)申请号 202320992937.6
(22)申请日 2023.04.27
(73)专利权人 赛瑞达智能电子装备 （无锡）有限
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