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本发明涉及光场驱动技术领域,具体公开了光场驱动的氮化镓‑金非对称纳米隧道结器件,包括氮化镓衬底,氮化镓衬底的上表面上镀有领结型纳米天线,领结型纳米天线为金膜材质,领结型纳米天线的中心位置设置有间隙,间隙的宽度为亚十纳米级。本发明例降低了实现光场驱动的超快过程需要的外加场强,大大减小了器件烧毁的可能性,同时将光响应电流从pA量级提升到nA量级,为实现光频电子器件的实际应用贡献了可行的技术方案。本发明还公开了光场驱动的氮化镓‑金非对称纳米隧道结器件的制备方法,采用几何校正的方法,为邻近效应造成的影响
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116895648 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202310761649.4
(22)申请日 2023.06.26
(71)申请人 郑州大学
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