一种等离子清洗模块.pdfVIP

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2023-10-18 发布于四川
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本实用新型涉及等离子蚀刻领域，公开了一种等离子清洗模块，包括两个气排组件及至少两个电极板，多个电极板沿一方向依次间隔布置，相邻的两块电极板之间均具有间隙，两气排组件用于向间隙内相对地喷射待离化气体，相邻两个电极板在通电时产生交变电场，所述间隙内设置有与交变电场相交的磁场，在交变电场和磁场的共同作用下，电子由往复运动变为螺旋回转运动，从而增大了电子的行程，进而增大了电子与中性粒子的碰撞频率，因此增大了活性粒子的密度，提高活性粒子往深孔扩散的动力，增强了活性粒子的迁移能力，而且增强了等离子体中反应物

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219843790 U (45)授权公告日 2023.10.17 (21)申请号 202320849404.2 (22)申请日 2023.04.14 (73)专利权人广东鼎泰机器人科技有限公司地址