原创力文档- 1
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- 2023-10-18 发布于四川
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本实用新型涉及一种多晶硅生产启动装置，所述多晶硅生产启动装置包括：还原炉和微波发生装置，所述还原炉包括炉罩，所述炉罩包括内炉壁和外炉壁，所述内炉壁和所述外炉壁之间设有冷却水夹层，所述内炉壁围成有容置腔，所述容置腔内适于放置沉积载体硅芯，所述炉罩上设有微波馈能口，所述微波发生装置包括微波发生器和微波通道，所述微波发生器位于所述还原炉的外侧且相对所述微波发生器可移动，所述微波痛通道的一端与所述微波发生器连通，所述微波通道的另一端与所述微波馈能口连通，所述微波发生器用于通过所述微波通道加热所述沉积载体
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219839478 U
(45)授权公告日 2023.10.17
(21)申请号 202320446769.0
(22)申请日 2023.03.02
(73)专利权人 中国恩菲工程技术有限公司
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