对于使用加热器元件阵列的基板载具的温度测量.pdfVIP

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2023-10-21 发布于四川
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对于使用加热器元件阵列的基板载具的温度测量.pdf

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说明了使用加热器元件阵列对基板载具进行温度测量。在一个示例中，一种方法包含：测量静电吸盘中多个加热元件中的每一个的第一结合电流负载；改变所述多个加热元件中的第一加热元件的电力状态；在改变所述第一加热元件的所述电力状态之后，测量所述多个加热元件中的每一个的第二结合电流负载；确定所述第一结合电流负载与所述第二结合电流负载之间的差值；使用所述差值确定所述第一加热元件的温度；以及将所述第一加热元件的电力状态恢复至所述改变之前的电力状态，并对于所述多个加热元件中的其他加热元件中的每一个重复改变电力、测量电

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116913798 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310998484.2 H01L 21/683 (2006.01) (22)申请日 2017.08