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一种光刻机自由光瞳照明控制系统，包括：运算中心、控制中心、微反射镜阵列控制单元、微反射镜阵列角位置监测单元和微反射镜阵列；运算中心通过上位机获取光刻机的目标照明模式，并根据目标照明模式计算各微反射镜的目标角位置和初始驱动电压，及将目标角位置和初始驱动电压发送至控制中心；控制中心将各微反射镜的初始驱动电压发送至微反射镜阵列控制单元，以驱动各微反射镜旋转；微反射镜阵列角位置监测单元用于监测各微反射镜的角位置，并将监测的实测角位置反馈至控制中心；控制中心还用于根据实测角位置对各微反射镜进行闭环控制，直
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116909109 A
(43)申请公布日 2023.10.20
(21)申请号 202310975318.0
(22)申请日 2023.08.03
(71)申请人 上海镭望光学科技有限公司
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