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减压干燥装置以及减压干燥方法.pdfVIP

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  • 2023-10-21 发布于四川
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减压干燥装置以及减压干燥方法.pdf

    减压干燥装置具备：腔室，容纳基板，所述基板具有形成有包含溶剂的涂覆层的多个涂覆区域；基板保持台，在所述腔室的内部保持所述基板；侧壁部，配置于在所述基板保持台所保持的所述基板的周围；分隔件，配置在所述侧壁部的内侧，按每个所述涂覆区域对所述基板的所述多个涂覆区域上的空间进行分隔；整流板，被配置为在与所述基板对置的位置堵塞由所述侧壁部和所述分隔件进行分隔的所述空间，形成有多个贯通孔；气体供给部，向所述腔室的内部供给惰性气体；和减压部，对所述腔室的内部进行减压。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116917050 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202280019303.0 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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