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本发明涉及光刻设备领域，公开了一种光刻设备的对准运动台和光轴Z轴垂直度校准方法、装置、设备及存储介质。该方法包括：晶圆设置标记点，视场中心对准标记点；晶圆移动时，获取晶圆的移动量△Z；标记点在视场中的位置发生了偏移，计算得到标记点在视场的位移量s；计算运动台偏角α，完成对准运动台Z轴平行度调校。本发明采用被校模块本身作为测校模块，通过控制对准运动台模块和对准相机模块作为测校模块，通过机器视觉算法对标记位移和方向判别可计算出运动台Z轴和对准相机光轴的偏转角度和方向，对于运动台Z轴的校准精度可达1.
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116931393 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310961545.8
(22)申请日 2023.08.02
(71)申请人 上海图双精密装备有限公司
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